200 kV-os elektronokkal működő transzmissziós elektronmikroszkóp (TEM). Jó átvilágító-képességével minden hagyományos TEM-es képi (világos látóterű "BF" és sötét látóterű "DF") és határolt területű elektrondiffrakciós (SAED) munka elvégzésére alkalmas. Diszlokációk, rétegzési hibák, szemcsehatárok, zárványok, kiválások vizsgálatára ideális.

120 kV-os elektronokkal működő transzmisszió elektronmikroszkóp (TEM) pásztázó feltéttel és energiadiszperzív röntgen spektrométerrel is rendelkezik. E kiépítés nem csak hagyományos képi (BF / DF) és diffrakciós (SAED) leképezéseket tesz lehetővé, hanem -a "nanoprobe" üzemmódot is felhasználva- lokális elemanalízist (EDS) és mikrodiffrakciót, illetve konvergens sugaras elektrondiffrakciót (CBED) is. Az így nyert információk lokális fázis-azonosítást és hibaszerkezet vizsgálatot tesznek lehetővé.

E kiegészítők segítségével készítünk a tanulmányozandó nagyobb anyagdarabokból a transzmissziós elektronmikroszkópos vizsgálat számára alkalmas, kis méretű mintákat. Ezeknek egyes területeit azután különböző (kémiai, illetve ionsugaras) módszerekkel vékonyítjuk az elektronok számára átvilágítható vastagságúra (0 - 200 nm).

A mechanikus előkészített apró próbatestek elektrokémiai vékonyítását végzi a minta (automatikusan detektált) kilyukadásáig. Az apró lyuk környékén körkörösen ék alakban vastagodó mintaterület kb. 200 nm-ig terjedő vastagságú része tanulmányozható TEM-mel.

Ti/Ni fém multiréteg szerkezete világos látóterű képen. Jól látható, hogy egy oszlopszerű tartományban a rétegek görbültek.

Nagyenergiájú ionok okozta kristályhibák InSb félvezető mintában

Al-Cu ötvözet öregedés során kivált második fázis sötét látóterű képe. A képen látható, hogy a lemez-szerű kiválások a mátrixban egy adott orientációban helyezkednek el.

Al és Co szilárdfázisú reakciójával kialakult nanoszerkezet. A hőkezelés során keletkezett új fázis Al9Co2, amiben elkülönült nanokristályokként találhatók a többlet Co szemcséi.
Az EDS analízisek helyét sötét körökkel jelöltük.