Eötvös Loránd Tudományegyetem
Természettudományi Kar
Fizikai Intézet

 
   

 

 

 

 

 

mesterszakos diplomatéma részletei

A kiíró adatai
Név: Donkó Zoltán
Tudományos fokozat: DSc
Intézet: MTA Wigner FK. Szilárdtestfizikai és Optikai Intézet
Telefonszám: 392-2222 x 1309
Honlap: http://plasma.szfki.kfki.hu/~zoli

 

A mesterszakos diplomatéma:
Címe: Rádiófrekvenciás gerjesztésű plazmaforrások szimulációja
A munka jellege: elméleti
Szakterületi besorolás: Plazmafizika
A téma rövid leírása: Az alacsony nyomású gázokban elektromos gerjesztéssel létrehozott plazmákat széleskörűen alkalmazzák felületek módosítására, pl. biokompatibilis felületi rétegek létrehozására, félvezetőelemek marására. Ezekben az alkalmazásokban az elektródák felületével elsősorban a kémiailag aktív molekulák és az ionok hatnak kölcsön. Az utóbbi években már ipari szinten is elterjedőben vannak olyan (több frekvenciát egyidejűleg alkalmazó) rádiófrekvenciás gerjesztésű plazmaforrások, amelyek lehetővé teszik az elektródákra becsapódó ionok fluxusának és energiaeloszlásának egymástól közelítőleg független beállítását. A téma kidolgozása során a plazma számítógépes szimulációjával vizsgáljuk az elektronok és az ionok kinetikáját. A szimuláció az ú.n. particle-in-cell módszerre épül és lehetővé teszi a gázkisülés jellemzőinek (potenciáleloszlás, töltött részecskék sűrűsége, sebessége, stb.) önkonzisztens meghatározását a hely és idő függvényében. Célunk optimalizálni az elektródákra érkező ionok fluxusának és energiaeloszlásának egymástól független szabályozását, a gerjesztő frekvenciák és ezek amplitudójának megválasztásával.
Szükséges előismeretek: programozási ismeretek, angol nyelv
Egyetemi konzulens:
Tanszék:

 

Jelentkezés a mesterszakos diplomamunkára
Szeretnék jelentkezni a fenti mesterszakos diplomamunkára:
ETR/Neptun-kód:
Név:
Szak:
Évfolyam:
E-mail cím:
Telefon:

 

 

 

 

Programozás és grafika:
Pozsgai Péter