Eötvös Loránd Tudományegyetem
Természettudományi Kar
Fizikai Intézet

 
   

 

 

 

 

 

mesterszakos diplomatéma részletei

LEZÁRVA!

A kiíró adatai
Név: Hartmann Péter
Tudományos fokozat: PhD
Intézet: MTA Szilárdtestfizikai és Optikai Kutatóintézet
Telefonszám: 392-2222 x 1266
Honlap: http://www.szfki.hu

 

A mesterszakos diplomatéma:
Címe: Rádiófrekvenciás gázkisüléseket leíró numerikus modellek kísérleti min?sítése
A munka jellege: kísérleti és elméleti
Szakterületi besorolás: Plazmafizika
A téma rövid leírása: Rádiófrekvenciás áramforrással táplált alacsony nyomású elektromos gázkisülések egyre több high-tech ipari területen kerülnek alkalmazásra. Ilyenek pl. a mikroelektronikai eszközök gyártása, napelemek el?állítása, biokompatibilis felületek készítése, felületek csíramentesítése, stb. Különböz? alkalmazások a kisülési plazmák más-más tulajdonságaira épülnek, adott esetben a kezelend? felületr?l anyagot kell eltávolítani (maratás), máskor atomokat kell beültetni (implantálás). Az alkalmazásokhoz optimalizált összetett plazmaforrások pontos leírásának igénye már régóta meghaladja az analitikus elméletekkel megoldható problémakört, így a kísérleti vizsgálatok mellett a numerikus szimulációk kapnak egyre nagyobb szerepet.
Az elmúlt évtizedekben különböz? numerikus technikákat vetettek be, de mára az ú.n. particle-in-cell (PIC) módszer bizonyult a legsokoldalúbbnak és legpontosabbnak is. Van azonban a numerikus szimulációknak egy közös gyengesége: mindig adnak eredményt (bizonyos numerikus stabilitási kritériumok teljesítése esetén), azok helyességér?l azonban nekünk, a számításainktól független módok kell meggy?z?dnünk.
Jelen diplomamunka célja, hogy kísérleti, és egymástól független szimulációs eredményeket el?állítva, azokat egymással összevetve kvalitatív határokat határozzunk meg a különböz? közelítéseket alkalmazó numerikus modellek érévényességére.
Szükséges előismeretek: programozási ismeretek, angol nyelv
Egyetemi konzulens: Ispánovity Péter Dusán
Tanszék: Anyagfizikai Tanszék

 

 

 

Programozás és grafika:
Pozsgai Péter