Eötvös Loránd Tudományegyetem
Természettudományi Kar
Fizikai Intézet

 
   

 

 

 

 

 

alapszakos szakdolgozati téma részletei

LEZÁRVA!

A kiíró adatai
Név: Petrik Péter
Tudományos fokozat: PhD
Intézet: MTA-Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet (MFA)
Telefonszám: 3922502
Honlap: http://petrik.ellipsometry.hu

 

A alapszakos szakdolgozati téma:
Címe: Ionimplantált anyagok optikai vizsgálata napelem- és félvezetőtechnológiai kutatásokhoz
A munka jellege: kísérleti és elméleti
Szakterületi besorolás: Anyagtudomány, szilárdtestfizika
A téma rövid leírása: Az általunk alkalmazott optikai módszer, az ellipszometria a fény polarizációs állapotának a felületen való reflexió során történő megváltozását méri, amivel a felületi vékonyrétegek vastagságát nanométer alatti pontossággal lehet megmérni. 2008 őszétől laborunkban működik a jelenleg elérhető legjobb ellipszométertípus egy példánya (Woollam M2000DI, http://www.jawoollam.com). Az ellipszometria csoport tradicionális kutatatási területe az ionimplantációval módosított anyagok optikai vizsgálata. Ez a tevékenység több, mint húsz évre nyúlik vissza, és a csoport legsikeresebb kutatási területe (http://www.mfa.kfki.hu/photondp/ndestest/ellipso/index.html). A Si mellett új anyagok is megjelennek, mint a SiC a nagyteljesítményű elektronikához, illetve a napelemgyártásban elterjedőben lévő CdTe/CdS rendszerek. Az ionimplantáció során a dózist növelve csökken az épen maradó egykristályos területek mérete, így egyfajta jól kontrollálható nanokristály-szerkezet hozható létre. Következésképpen az ionimplantáció akár leválasztott nanokristályos minták szerkezeti vizsgálatához is modellt szolgáltathat, amennyiben az ionimplantált rétegek dielektromos függvényéhez a méretfüggést leíró parametrikus modellt sikerül találni. Emellett egy új, a közelmúltban sikerrel tesztelt technika, a ferde maszkon keresztül történő implantáció segítségével az eltemetett roncsolt tartományt a felület közelébe tudtuk juttatni. Mivel szilíciumban a direktátmenetekhez tartozó fotonenergián a fény behatolási mélysége kisebb néhányszor 10 nm-nél, ezért különösen nagy jelentősége van, hogy a nagy érzékenységgel vizsgálni kívánt tartomány a felület közelében legyen. A jelölt a témában egy konkrét részfeladatot kap, amely a következő: (1) A Woollam M2000DI ellipszométer megismerése; (2) Az ionimplantált szerkezetek ellipszometriai vizsgálatával foglalkozó irodalom és a modellezési technikák megismerése és elsajátítása; (3) Ellipszometriai térképezőmérések végrehajtása kisenergiájú szilíciummal és arzénnel, valamint (ferde maszkon keresztül) héliummal implantált szilíciumszeleteken; (4) A mért adatok kiértékelése különböző optikai modellekkel. (További információ: http://people.mfa.kfki.hu/petrik/temak_hu.html)
Szükséges előismeretek: Analitikus gondolkodásra és önálló problémamegoldásra való készség, angol nyelv. Programnyelvek ismerete előny (MATLAB, C, Pascal).
Egyetemi konzulens:
Tanszék: Anyagfizikai Tanszék

 

 

 

Programozás és grafika:
Pozsgai Péter