Eötvös Loránd Tudományegyetem
Természettudományi Kar
Fizikai Intézet

 
   

 

 

 

 

 

alapszakos szakdolgozati téma részletei

LEZÁRVA!

A kiíró adatai
Név: Misják Fanni
Tudományos fokozat: PhD
Intézet: MTA M?szaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet 1121 Budapest, Konkoly-Thege M. u. 29-33.
Telefonszám: 392-22-22/3924
Honlap: http://www.mfa.kfki.hu

 

A alapszakos szakdolgozati téma:
Címe: Cu-Mn NANORÉTEGEK ELEKTRONMIKROSZKÓPOS VIZSGÁLATA
A munka jellege: kísérleti
Szakterületi besorolás: Anyagtudomány, szilárdtestfizika
A téma rövid leírása: A kiírt diplomamunka az INTEL írországi fejlesztői által kezdeményezett projekthez kapcsolódik. A fejlesztés során mi a nanoméretű vezetékek és barrierrétegek létrehozásának tudományos háttérkutatásában veszünk részt. Ebben megoldandó problémaként jelentkezik, hogy a tranzisztorok között összekötő anyagként alkalmazott fém (Cu) ne diffundáljon a dielektrikumba. Ezt a hagyományos eljárások során diffúziós barrier alkalmazásával próbálják megelőzni. A méretek csökkentésével azonban a diffúziós barrier vastagságát is csökkenteni kell, ami előállítási nehézségeket von maga után. A megoldás keresése során vizsgáljuk, hogy fém ötvözetek, ill. fém-fém kompozit vékonyrétegek alkalmazásával lehetséges lenne-e egy technológiai lépésben létrehozni az összekötő vezetékeket és az ezeket a dielektrikumtól elválasztó barrier réteget.
A jelentkező ebbe a munkába kapcsolódhat be. Feladata különböző összetételű Cu-Mn ötvözetrétegek porlasztással való előállítása. Majd ezek vizsgálatához szükséges alapvető elektronmikroszkópos módszerek elsajátítása és a mikroszkópos vizsgálatok elvégzése.
A feladat kísérleti része az MTA MFA Vékonyrétegfizika Osztályán zajlana.
Szükséges előismeretek: A tantervben előírt tárgyak
Egyetemi konzulens: Dr. Tichy Géza
Tanszék: Anyagfizikai Tanszék

 

 

 

Programozás és grafika:
Pozsgai Péter