Eötvös Loránd Tudományegyetem
Természettudományi Kar
Fizikai Intézet

 
   

 

 

 

 

 

mesterszakos diplomatéma részletei

A kiíró adatai
Név: Szilágyi Edit
Tudományos fokozat: CSc
Intézet: KFKI Részecske- és Magfizikai Kutatóintézet, 1121 Budapest, Konkoly Thege M. út 29-33. (levélcím: 1525 Budapest, pf. 49)
Telefonszám: 392 2222 (3962-es mellék)
Honlap: http://www.rmki.kfki.hu

 

A mesterszakos diplomatéma:
Címe: Rétegszerkezet vizsgálata és módosítása ionsugarakkal
A munka jellege: kísérleti
Szakterületi besorolás: Anyagtudomány, szilárdtestfizika
A téma rövid leírása: A nm-es vastagságú rétegszerkezetek az elmúlt 10-15 év során mind a szilárdtestfizikai alapkutatás, mind pedig a technológiai alkalmazások szempontjából a legintenzívebben kutatott rendszerei között szerepelnek. Szerkezeti anyagokra felvitt különleges multiréteg-szerkezetek jelentős mértékben javíthatják azok mechanikai, elektromos, mágneses tulajdonságait, kopás- és korrózióállóságukat. A multirétegek minősége elsősorban a határrétegek minőségétől függ, amelyek tulajdonságai módosíthatók ionimplantációval. Az ionimplantáció során felgyorsított ionokat ütköztetünk egy céltárgyba. Ezt a módszert napjainkban már több helyen is alkalmazzák technológiai lépésként (pl. mikroelektronikában, ipari szerszámok felületi tulajdonságainak megváltoztatására, stb.). A rétegszerkezetek minősítésére - az elemeloszlás mélységfüggő meghatározásán túl az epitaxiális rétegek "jóságának" megállapítására - az egyik legjobb módszer a csatornahatással kombinált visszaszórásos analitika (Backscattering Spectrometry, BS).
A munka az RMKI kísérleti eszközeire épül: a mintákat a molekulasugaras párologtató berendezéssel állítjuk elő, az ionimplantáció illetve az ionsugaras analitikai mérések intézetünk gyorsítóin lesznek végrehajtva. A rétegszerkezetek határfelületeit különböző dózisú, energiájú és fajtájú ionimplantációval fogjuk módosítani és a módosítás mértékét BS-val határozzuk meg.
A hallgató feladata, hogy ismerkedjen meg az implantáció alapfolyamataival, valamint az ionsugaras analitika különféle módszereivel. Kapcsolódjon be az itt folyó kutatásokba, vegyen részt a rétegszerkezetek előállításában, implantálásában, valamint az anyagok ionsugaras analitikai vizsgálataiban, illetve a mérések értelmezésében. Sikeres diplomavédés esetén a munka PhD-képzés keretében is tovább folytatható.
Szükséges előismeretek: szilárdtestfizikai, számítástechnikai ismeretek, középfokú angol nyelvtudás
Egyetemi konzulens: Nagy Dénes Lajos
Tanszék:

 

 

 

Programozás és grafika:
Pozsgai Péter